坩埚的生产原料,可概括为三大类型。一是结晶质的天然石墨,二是可塑性的耐火黏土,三是经过煅烧的硬质高岭土类骨架熟料。从2008年开始,焦炭炉石墨坩埚价格,开始采用耐高温的合成材料,可直接受热,加热后不能骤冷,用坩埚钳取下,坩埚受热时放在泥三角上,焦炭炉石墨坩埚定制,蒸发时要搅拌;将近蒸干时用余热蒸干,坩埚可分为石墨坩埚、粘土坩埚和金属坩埚三大类
现代拉单晶的坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,秦皇岛焦炭炉石墨坩埚,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路的基础材料。现代的石英坩埚则存在二种结构,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3~5mm的透明层,焦炭炉石墨坩埚加工,称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。
影响碳化硅坩埚使用寿命的一些因素。
1、坩埚材质的化学成分和物理、化学特性对坩埚的使用寿命有很大的影响。
2、坩埚容量,感应炉坩埚的使用寿命随其容量的增大而下降。
3、坩埚的工作状况,连续冶炼和间歇冶炼对坩埚的使用寿命有很大的影响。
4、坩埚的制作工艺,制作坩埚的各个环节的操作质量对坩埚的使用寿命有着重要的影响
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